關鍵X光技術 突破量測瓶頸
隨著全球人工智慧(AI)需求熱絡,帶動國內半導體產業蓬勃發展。根據工研院IEKCQM預估,今年半導體產值可望首次突破5兆元大關,達5兆1,134億元,年成長17.7 %,其中,在半導體的晶圓代工上,台灣廠商更以先進技術領先世界,積極跨入更小奈米、甚至埃米的先進製程中。
為了解決先進製程量測時間過長與解析度不足等痛點,在經濟部產業技術司的補助下,工研院衍生新創公司「奈視科技(nanoseex)」打造出全世界解析度最好的「線上X光關鍵尺寸量測系統」,確保製程前段晶片的良率和性能,進而提升產品競爭力,協助台灣鞏固國際半導體產業之領先地位。
奈視科技執行長劉軍廷表示,AI刺激當前半導體技術迅速發展,傳統的平面架構已無法滿足日益增加的運算需求,業界開始廣泛採用3D堆疊與異質整合等技術來提高性能,這些技術能讓更多元的模組得以緊密結合、縮短連接距離,有效大幅提升數據傳輸速度。
然而,晶片內部的結構變得更加緊密與複雜,使得檢測挑戰倍增,且立體架構下,現今光學技術在10奈米以下的量測遇到了瓶頸,因此奈視團隊不斷在硬體設備與演算法上進行創新,解決許多道難題。
例如,硬體設計出能夠應對極微小結構的X光量測裝置,軟體打造更高精度、效率更快的分析工具,這些技術的突破讓「線上X光關鍵尺寸量測系統」得以推出,並獲得研發屆奧斯卡獎之稱的「R&D 100 Awards」肯定。
工研院量測技術發展中心副執行長傅尉恩指出,由於過去無人做過相關技術,團隊是從無到有,從尋找合適的X光光源,到設計許多特殊光學路徑,才一點一滴打造出這套關鍵技術,非常的不容易。
也因為該技術是半導體產業邁入高階製程的重要幫手,奈視科技2023年成立後,便吸引國內半導體系統設備廠商的高度關注,如國內大廠致茂電子、帆宣科技分別立即投入資金,目前實收資本額已達新台幣1.65億元,未來募資總額上看超過3億元。
奈視科技執行長劉軍廷表示,半導體前段製程量測設備主要仍以歐美廠商為主,奈視科技為少數跨入前段製程量測設備的軟硬體整合商,目前正與國內外廠商合作,計畫將這項X光量測技術導入晶圓產線測試,盡快商業化,帶動國內半導體高階量測設備技術發展。
台灣新創 拚當超級創新者
台灣新創近年來蓬勃發展,屢次在國際舞台創佳績,根據最新的世界經濟論壇公布的全球競爭力報告(The Global Competitiveness Report),台灣連續兩年在「創新能力」中排名亞太第一、全球第四,並被視為「超級創新者」(super innovators),顯示台灣持續受到國際肯定。
台灣許多產業近年在科技研發、技術創新、人才培育等方面都注入龐大資源,成功在市場上孕育出許多深具潛力的新創尖兵,舉工研院為例,截至2024上半年衍生的新創公司及事業群已逾165家,例如奈視科技、歐美科技、起而行等,更在半導體設備、綠能領域嶄露頭角。
AI席捲全球,更強勁的運算需要半導體更先進的製程,同時為確保晶片良率和性能,檢測技術也必須不斷進步。在經濟部產業技術司的補助下,工研院衍生新創公司「奈視科技」(nanoseex),打造全世界速度最快的反射式X光(XRCD)量測技術,該專利X光技術能穿透多層GAA結構,以原子級解析度監控關鍵尺寸,靈敏度高、解析度高,並能將量測時間縮短60%以上,是全球速度最快的非破壞性線上檢測機台,幫助晶圓代工廠商突破量測限制,提升產品的良率與品質。
目前半導體前段製程量測設備主要仍以歐美廠商為主,隨著製程從3奈米進入2奈米甚至1奈米,搶先掌握先進技術愈來愈重要,奈視科技憑藉優異的軟硬體整合方案,已與國內廠商合作,計畫在今年將這項X光量測技術導入晶圓產線測試並力拚盡快商業化,以期帶動國內半導體高階量測設備技術發展。
隨著淨零排放觀念越趨盛行,全球電動車充電市場快速發展,同時也帶動相關充電基礎設施加速部署,如美國2024年預計要設立50萬個充電樁,以提升電動車普及率;歐洲為最早喊出禁售燃油車的地區,更是訂下2025年公共充電樁數量要達到100萬座的目標。
2017年成立的起而行綠能,為目前市場上唯一專注於各式電動車輛充電方案開發的公司,涵蓋二輪輕型車、四輪乘用車,甚至八輪客貨車等多種充電產品,如今已站穩市場領導地位,創下台灣充電樁市占率高達六成佳績。
在握有穩固基礎,且產品多元能滿足不同客戶之下,起而行綠能2023年更獲得和泰集團、士林電機注資,成立充電營運新創「充壩」,目標將充電樁外銷歐、日、東南亞,甚至進入美洲市場,帶領電動車充電產業競逐國際市場。
隨著終端裝置性能愈來愈高階,晶片不斷微小化,以及從2D演進至3D不斷垂直向上堆疊,其中縱向串聯的矽穿孔(Through Silicon Via;TSV)至關重要,是電路能否暢通的關鍵,但因為孔洞細小,能不能精準量測,也攸關產品良率。在產業技術司支持下,工研院新創公司「歐美科技」以非破壞光學技術為半導體先進封裝帶來突破性的檢測應用,幫助半導體業者快速鑑別產品,推動AI晶片高階製程提升整體良率。看準其未來成長性,歐美科技也獲得德律科技、研創資本、新光合成纖維等注資。
歐美科技在分離數值孔徑干涉技術(Separated Numerical Aperture Interference Technology;SNAIT)基礎上提升光學系統訊雜比,解決過去掃描式電子顯微鏡(SEM)需進真空、破壞樣本,且檢測流程曠日廢時,或是其他光學檢測方法無法深入等痛點。
除了半導體以外,該技術未來在高速運算相關所需要的IC載板或玻璃基板也有發揮的空間,歐美科技與策略夥伴合作下,有信心為台灣半導體護國神山群再添佳績。
工研院一直秉持創新的精神,致力於推動台灣科技產業前進,透過不懈的努力,不僅提升台灣在全球科技市場的競爭力,也展示工研院作為創新搖籃的強大實力。未來面對愈來愈競爭的國際競爭以及快速變化的市場,工研院將繼續引領創新,培育更多新創企業,推動台灣科技產業的持續繁榮與發展。
公司簡介
NanoSeeX因應半導體先進前段製程,與國內半導體大廠合作多年,於2023年成立新創公司,資本額一億,致力於開發國產高階半導體量測設備,並期望吸引或串聯國內高階半導體科技人才和技術,包含X光演算法、光學機器學習、奈米級精密機械以及次奈米級結構量測方法。市場需求包含半導體foundry以及國內外記憶體大廠。
公司基本資料
統一編號 | 94118256 訂閱 |
登記現況 | 核准設立 「查詢最新營業狀況請至 財政部稅務入口網 」 |
公司名稱 | 奈視科技股份有限公司 Google搜尋 (出進口廠商英文名稱:NanoSeeX Inc.) 「國際貿易署廠商英文名稱查詢(限經營出進口或買賣業務者)」 |
章程所訂外文公司名稱 | NanoSeeX Inc. |
資本總額(元) | 300,000,000 |
實收資本額(元) | 165,620,000 |
每股金額(元) | 1 |
已發行股份總數(股) | 165,620,000 |
代表人姓名 | 韓宗憲 |
公司所在地 | 新竹縣竹東鎮中興路四段195號(52館) 電子地圖 |
登記機關 | 經濟部商業發展署 |
核准設立日期 | 112年05月26日 |
最後核准變更日期 | 113年05月02日 |
複數表決權特別股 | 無 |
對於特定事項具否決權特別股 | 無 |
特別股股東被選為董事、監察人之禁止或限制或當選一定名額之權利 無 | |
所營事業資料 | CA02990 其他金屬製品製造業 CB01010 機械設備製造業 CC01110 電腦及其週邊設備製造業 CC01080 電子零組件製造業 CE01010 一般儀器製造業 CE01030 光學儀器製造業 CE01990 其他光學及精密器械製造業 CZ99990 未分類其他工業製品製造業 E604010 機械安裝業 E605010 電腦設備安裝業 E603050 自動控制設備工程業 EZ05010 儀器、儀表安裝工程業 F113010 機械批發業 F113030 精密儀器批發業 F113050 電腦及事務性機器設備批發業 F113060 度量衡器批發業 F118010 資訊軟體批發業 F213040 精密儀器零售業 F401010 國際貿易業 F601010 智慧財產權業 I103060 管理顧問業 I199990 其他顧問服務業 I301010 資訊軟體服務業 I301020 資料處理服務業 I301030 電子資訊供應服務業 I501010 產品設計業 IG02010 研究發展服務業 JA02010 電器及電子產品修理業 JE01010 租賃業 ZZ99999 除許可業務外,得經營法令非禁止或限制之業務 |